产品简介

A7000AD CMP研磨抛光液颗粒检测仪采用SPOS单颗粒光学传感与自动稀释技术，实现0.5-400μm粒径检测，分辨率0.01μm，灵敏度达10PPT，支持高浓度（每毫升10^9个颗粒）的样品自动稀释与数据还原，特别适用于检测CMP浆料、墨水、颜料等中的尾端大颗粒的检测，具备高精度、高灵敏度与数据合规性。

【核心技术】

1. 自动稀释系统 (Automatic Dilution)

• 突破重合限：传统的单颗粒传感技术在样品浓度过高时会产生“重合"误差。光起科技Acona颗粒计数器 A7000AD CMP研磨抛光液颗粒检测仪搭载自动稀释系统，能有效将高浓度样品快速稀释至最佳测试浓度 。

• 降低人工成本全自动流程减少了人工稀释的试错成本和时间成本，同时消除了操作误差。

• 数据自动还原： 计算机系统会根据稀释因子自动还原样品的原始颗粒浓度，直接输出最终结果，确保高浓度样品检测的真实有效。

• 2. SPOS 单颗粒光学传感技术

• 双物理模式，全谱段覆盖：系统搭载先进的 LE400 传感器，将光阻法(Extinction)与光散射法(Scattering)结合在同一系统中。这种双物理模式设计兼顾了微小颗粒的探测灵敏度与大颗粒的计数准确性，实现了 0.5 – 400μm 的超宽动态检测范围 。

• 逐个计数，还原真实分布：坚持“一次检测一个颗粒"的 SPOS 计数原理，对大量粒子样本进行逐个粒径测试并计数。它构建的是真正的粒度分布 (PSD)，不仅能提供高分辨率的体积分布，更能直接输出量化的数量分布结果，为光电材料及医药原液的质量管控提供最真实的数据支撑 。

3. 0.01μm 超高分辨率 (Ultra-High Resolution)

• 1024 个数据通道： 相比传统仪器的 8 或 16 通道，A7000 APS 提供了多达 1024 个数据通道，对粒径大小进行极精细的划分 。

• 拒绝“假峰"与误判： 精度达到 0.01 μm，能清晰分辨相邻颗粒的大小 。实验显示，对于 0.8μm、2μm、5μm 的混合标粒，低通道仪器可能误判为一个宽峰，而 A7000 APS 能清晰呈现出 3个独立的尖峰，还原最真实的样本分布 。

4. 10 PPT 灵敏度 (Ultra-High Sensitivity)

• 捕捉“尾端"风险： 灵敏度高达 10 PPT 级别，即使是痕量的颗粒通过传感器也能被精准检测 。

• 超越激光衍射： 对比数据显示，在检测尾端大颗粒（LPC）时，其灵敏度比传统激光衍射法（LD）显著提升约 6000倍，是管控 CMP 浆料及乳剂稳定性的强力工具 。

1024通道下0.8μm、2μm、5μm混合标粒的检测结果

【数据工作站】

CMP研磨抛光液颗粒检测仪专为高标准监管行业打造 。

• 权限管理： 内置几十种细分权限（如运行测试、固件更新、删除数据等），支持多级用户管理 。

• 审计追踪： 详实记录登录、测试、校准、报告生成等所有操作，支持日志检索与导出，数据不可篡改 。

• 数据安全： 数据库自动备份，支持与 LIMS 系统连接，防止数据丢失 。

• 电子签名与报告： 自动生成 Pass/Fail 判定报告，支持电子签名审批流程 。

审计追踪

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