产品简介

Acona LE Mini光阻法颗粒计数仪是一款面向CMP工艺液的在线颗粒计数器，基于SPOS单颗粒计数原理，支持过滤前后及输送末端的实时监测，提供大颗粒数量（LPC）趋势与阈值统计，助力过滤优化、异常预警及放行决策，适用于CMP slurry生产、输送与晶圆制造场景，提升过程控制精度与设备利用率。

Acona LE Mini光阻法颗粒计数仪是一款面向CMP工艺液的在线颗粒计数器，基于SPOS单颗粒计数原理，支持过滤前后及输送末端的实时监测，提供大颗粒数量（LPC）趋势与阈值统计，助力过滤优化、异常预警及放行决策，适用于CMP slurry生产、输送与晶圆制造场景，提升过程控制精度与设备利用率。

Acona LE Mini光阻法颗粒计数仪在CMP工艺中，LPC（LargeParticleCount，大颗粒数量）常用于表征尾端大颗粒风险。LEMini支持在过滤前/过滤后/输送末端等关键节点进行在线监测，为过滤优化、异常预警与放行决策提供数据支撑。  

【适用对象与场景】  

CMPslurry生产商：出厂质量控制、批间一致性、储存/混配过程监控。  

SDS（SlurryDeliverySystem）集成商：输送系统在线质量监测、报警联动、维护窗口优化。  

晶圆厂CMP产线：POU端放行前监测、过滤器更换（filterchangeouts）评估、异常追溯。  

【POU在线颗粒计数器部署建议】  

POU的目标不是“做一次检测"，而是让数据直接服务于过程控制。典型部署点位包括：  

过滤前：建立来料与混配后基线，识别上游波动对LPC的影响。  

过滤后：验证过滤效果与过滤器状态，形成更换前后的特征曲线。  

SDS输送末端（Tool端）：监控输送链路对尾端大颗粒（LPC）的影响，捕捉末端异常。

图1CMPslurry在储存-混合-输送-过滤-POU节点的旁路在线监测示意  

【核心技术与系统设计】  

1SPOS单颗粒计数  

采用SPOS（光阻/光消减）逐颗粒计数机制，输出可用于过程控制的粒径分布与阈值统计结果，面向CMPslurry的尾端大颗粒风险（LPC）提供可量化的数据依据。  

2在线稳定性设计  

面向在线连续或定时采样使用需求，可按工况选配稳流、回压、脱泡、保护过滤与冲洗等组件，用于降低气泡/波动对趋势数据的影响，并提升长期运行的可维护性与可重复性。  

3模块化旁路流路  

旁路取样——检测——回流/排放路径可配置，便于匹配不同现场管路与工艺窗口。对于高价值slurry，在不改变主流程的前提下完成在线颗粒监测与风险前移。  

4集成与联动  

提供通讯与报警接口（按配置），用于对接SDS系统或上位机，实现在线数据归档、超限预警与维护事件关联分析。  

常见问题|FAQ  

Q1：POU适合放在哪些位置？  

A：通常部署在过滤前/过滤后、混配后、SDS输送末端（Tool端）等POU节点，用于在线观察CMPslurry的LPC趋势与阈值统计。  

Q2：CMPslurry的LPC指什么？  

A：LPC（LargeParticleCount）通常指超过某一阈值粒径的大颗粒数量（如>0.5um、>1um、>5um等，按内控定义）。在CMP工艺中，LPC的异常上升常与划痕风险、过滤状态与输送工况相关。  

Q3：在线数据可以用于什么决策？  

A：用于过滤器更换（filterchangeouts）优化、SDS工况调整、异常批次隔离、以及POU放行判定的趋势依据。  

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