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TECHNICAL ARTICLES为什么CMP Slurry要测LPC?——CMP浆料LPC大颗粒计数与PSD尾端风险控制
2026-06-05 导语:CMP浆料质量控制不能只看平均粒径在CMP浆料质量控制中,D50、D90、PDI、Zeta电位和固含量等指标能够反映主体颗粒体系的状态,但它们并不能充分描述粒径分布尾端的低丰度大颗粒风险。这些尾端大颗粒、团聚体、凝胶颗粒或过程污染颗粒,数量占比可能很低,却可能与晶圆划伤、凹坑、缺陷水平升高、片内均匀性异常以及抛光去除行为变化相关。因此,LPC大颗粒计数应被看作CMP浆料质量控制中的一个独立风险指标,而不是平均粒径数据的附属信息。一、LPC是什么:PSD尾端的大颗粒风险指...公司邮箱: info@gqrayup.com
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