CMP Slurry 大颗粒检测仪是一款面向CMP工艺液的在线颗粒计数器，基于SPOS单颗粒计数原理，支持过滤前后及输送末端的实时监测，提供大颗粒数量（LPC）趋势与阈值统计，助力过滤优化、异常预警及放行决策，适用于CMP slurry生产、输送与晶圆制造场景，提升过程控制精度与设备利用率。

CMP Slurry 在线颗粒监测仪是一款面向CMP工艺液的在线颗粒计数器，基于SPOS单颗粒计数原理，支持过滤前后及输送末端的实时监测，提供大颗粒数量（LPC）趋势与阈值统计，助力过滤优化、异常预警及放行决策，适用于CMP slurry生产、输送与晶圆制造场景，提升过程控制精度与设备利用率。

Acona LE Mini在线液体颗粒计数器是一款面向CMP工艺液的在线颗粒计数器，基于SPOS单颗粒计数原理，支持过滤前后及输送末端的实时监测，提供大颗粒数量（LPC）趋势与阈值统计，助力过滤优化、异常预警及放行决策，适用于CMP slurry生产、输送与晶圆制造场景，提升过程控制精度与设备利用率。

Acona LE Mini全自动颗粒计数器是一款面向CMP工艺液的在线颗粒计数器，基于SPOS单颗粒计数原理，支持过滤前后及输送末端的实时监测，提供大颗粒数量（LPC）趋势与阈值统计，助力过滤优化、异常预警及放行决策，适用于CMP slurry生产、输送与晶圆制造场景，提升过程控制精度与设备利用率。

Acona LE Mini是一款面向CMP工艺液的在线颗粒计数器，基于SPOS单颗粒计数原理，支持过滤前后及输送末端的实时监测，提供大颗粒数量（LPC）趋势与阈值统计，助力过滤优化、异常预警及放行决策，适用于CMP slurry生产、输送与晶圆制造场景，提升过程控制精度与设备利用率。

LPC 检测仪采用SPOS单颗粒光学传感与自动稀释技术，实现0.5-400μm粒径检测，分辨率0.01μm，灵敏度达10PPT，支持高浓度（每毫升10^9个颗粒）的样品自动稀释与数据还原，特别适用于检测CMP浆料、墨水、颜料等中的尾端大颗粒的检测，具备高精度、高灵敏度与数据合规性。